洗浄

ゾングウ･エンテックは半導体及びディスプレー工程装置に対する
汚染源を取り除いて蒸着率を高め、工程の安定化を具現します。

概要

工程Flow

装備/設備

No.	Machine Name	Specification	Quantity	Maker
1	Clean Booth	3000x2000x2360	1	イルソン産業
2	Clean Oven	2500x1100x2370	1	(株)Sunglimracs
3	Ultra Sonic Bath	1500x1000x800	1	(株)新進超音波
4	高圧水洗 Booth	1000x1000x700	1	SE&T
5	Dry Table	1500x1000x1400	1	SE&T
6	純水製造装置		1	(株)Union産業

装備/設備写真

測定器

No.	Measuring Instrument	Specification	Quantity	Maker
1	Particle Counter	-	1	Yuyu計器商社
2	表面照度計	-	1	Yuyu計器商社
3	Thickness Gauge	-	1
4	PH Meter	-	1

測定器写真